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2023-04
在自動化半導體生產線上，半導體工藝設備(如，立式熱處理爐)的控制系統通常以任務(job)為單位控制半導體工藝組件(例如，可包括反應腔室、機械手等)完成半導體工藝，即，控制系統逐個任務地執行半導體工藝，每一晶圓加工任務的任務信息均包括晶圓傳入反應腔室至完成工藝后傳出工藝腔室的整個加工工序的流程信息。
2023-04-14
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2023-04
半導體晶圓傳送設備一般都有同步和非同步兩種類型。同步傳送設備采用的是同樣的傳送速度，并且傳送位置能夠準確匹配，而非同步傳送設備可以根據不同的要求，自行調整傳送速度和位置，從而達到更加準確的物料運輸效果。
2023-04-14
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