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TP630(離子注入)

涌淳半導體專注于半導體工藝設備的研發、制造、銷售及售后一體化服務,提供半導體廠商工藝設備的一站式解決方案。

關鍵詞:

半導體設備、半導體工藝

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產品描述

TP630 利用 PUMP 激光器對晶圓表面加熱來測量反射晶格 damage 程度熱波特征間接計算出與離子植入量成線性關系的 TW 值(infinity)。

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